第286章 中芯的接管

中芯会议室，长条桌旁坐满了中芯的核心工程师。

此时众人或好奇、或质疑地打量着眼前的年轻人，虽然众多技术人员都知道，中芯的江先生病重，公司的负责人肯定是需要更换的。

但看着眼前20岁出头的年轻面孔，众人心里都在打鼓，甚至害怕中芯好不容易搞起来的成绩，会被这个年轻人给败光。

许浪看着众人，也明白众人的想法，脸上依旧露出那副淡淡的笑容。

“我叫许浪，熊猫科技创始人，微聊科技创始人，大家应该或多或少听过我的名字。目前中芯有我的股份，我会带领你们完成40nm的良品率突破和量产。”

现场瞬间一片哗然，大家确实听过许浪的名字，龙国首富、熊猫手机、国产操作系统、第一个国内40nm流片的芯片，还有不少人手机上用的微聊。

但即便如此，即便许浪确实很厉害，那依旧是一个外人，这样的外行要怎么领导众人完成技术突破？

许浪也看出了众人的质疑与不信，也没打算继续解释，毕竟再多的解释，也不如事实来得有效。

直接把笔记本电脑连接到投影仪上，眼神认真地看着众人。

“好了，其他的话就不多说了，这几天我已经看过了中芯40nm全部的研发和生产资料了，具体的设备操作我肯定不如各位熟练，但技术的底层逻辑是相通的，我相信所有的工艺波动最终都会反映在数据上，我们现在最重要的就是摸清问题所在。”

很快，投影上出现了大量的数据，各种密密麻麻的数字和曲线，要是不懂的人，肯定会看得眼花缭乱，好在现场全都是技术骨干，自然能够看懂这些数据。

“过去三个月，我们一共生产了127批晶圆，报废了69批，我把所有报废原因做了分类统计，权重从高到低依次是：光刻对准误差32%，离子注入均匀性27%，cmp工艺缺陷21%，其他问题20%。”

许浪看向研发负责人老李。

“李工，你刚才说光刻对准误差是机械固有误差，目前无法找到问题，那为什么晶圆中心区域的对准偏差只有2nm，边缘区域却有8nm？如果是固有问题，应该整个晶圆都一样才对。”

老李愣了一下，没想到许浪居然会问出这么专业的问题，好一会儿才反应过来，支支吾吾地解释着。

“这个......这个我们也发现了，但一直没找到原因，可能是晶圆传送的时候变形了。”

“嗯，这个确实有可能，到时候查看一下相关热成像。晶圆在光刻前会被加热到100c，传送过程中要是冷却不均匀，在热胀冷缩下自然会导致变形，再加上光刻机的机械误差，或许这就是误差的来源。我只看到你们一直在调机械参数，却从来没考虑过温度的影响。”

众人都愣住了，所有人脸上写满了震惊，难道眼前这个年轻人是真的懂吗？要是不懂的话，也问不出这么专业的问题。

许浪不理会众人的惊讶目光，继续打开了下一页的资料，看向了另一个负责人。

“王工，离子注入的均匀性问题，你们一直在调注入剂量和扫描速度，那你们有没有测过晶圆表面的温度分布？离子注入时，晶圆中心温度比边缘高一些，温度越高离子的射程越远，掺杂浓度自然就越高，不控制温度的影响，永远不可能做到均匀。”